溫度是薄膜生長(zhǎng)的關(guān)鍵參數(shù)之一，獲得薄膜生長(zhǎng)的準(zhǔn)確溫度對(duì)于控制薄膜生長(zhǎng)、分析薄膜生長(zhǎng)過(guò)程、提高薄膜生長(zhǎng)的可重復(fù)性等至關(guān)重要。恰當(dāng)?shù)臏y(cè)溫方法對(duì)實(shí)驗(yàn)可能起到事半功倍的作用。測(cè)量樣品溫度的方法很多，根據(jù)測(cè)量方式不同，可將其分為接觸式和非接觸式兩種。接觸式溫度測(cè)量即通過(guò)溫度計(jì)或熱電偶等溫度測(cè)量?jī)x來(lái)獲得樣品溫度，非接觸式激光測(cè)量即在不接觸樣品表面的情況下獲得樣品表面溫度。